Рассмотрены основные направления развития современной электроники,использующей физические эффекты,имеющие место в наноструктурах. Проанализированы пути перехода от микро к нано электронным приборам, приведены описания нанотехнологических процессов,элементов и приборов наноэлектроники и новых материалов,с которыми тесно связано развитие приоритетной области нанонауки и нанотехнологии.
скачать |